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SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール 2006年9月25日 No.20
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発信元：SCIVAX株式会社
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このメールは、当社技術に関しコンタクトさせて頂いた方々にお送りしておりま
す。SCIVAX社のナノインプリントを中心とする技術開発関連情報、対外発表ご案
内、アンケートなどを送信させて頂くものです。
配信の中止・変更などは、末尾のご案内をご参照下さい。
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ナノインプリント／---------------------------------------------------------
＜目次＞
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１．ナノインプリントと計測装置について（Q&A)
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html
２．SCIVAXナノインプリントセミナーのご案内
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html
３．今週のトピック～弊社セミナーより
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html
４．ナノインプリント装置(X-200)レンタル
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_4.html
５．ナノインプリント関連サービス
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_1.html
ナノインプリント／---------------------------------------------------------
<<<SCIVAXはFPDインターナショナル2006に出展いたします>>>
弊社は、来る10月18日からパシフィコ横浜にて開催されます「FPDインターナショ
ナル2006」に出展いたします。
http://expo.nikkeibp.co.jp/fpd/
また、同展示会にて10月19日に開催されますテクニカルセッションBにて、13：30
から「SCIVAXのナノインプリント技術」－ナノ光学デバイス実現に向けて」と題し
ましてこれまでの研究成果を発表させていただきます。ぜひお越しいただけますよ
うよろしくお願いします。
http://expo.nikkeibp.co.jp/fpd/japanese/technical.html
１．ナノインプリントと計測装置について-------------------------------------
ナノインプリントの実用化が間近になる中、特に問題となっているのが検査法の
問題です。弊社ではこの問題にいち早く取り組み、マクロ検査手法とミクロ検査手
法を併用することを検討しております。今回は、先般開催いたしましたナノインプ
リントセミナーにて紹介がありました、ナノインプリントの研究開発・製造プロセ
ス管理に最適な検査装置「GEOSCAN」（日本ミニコンピュータ㈱）のご紹介を兼ね
て、計測・検査手法について簡単にまとめてみました。
Q:「ナノインプリントと計測装置」ということですが、何か特殊な計測装置が必要
なのでしょうか？
A:まず、今一般的に使われている計測装置について考えてみましょう。たとえ
ば、ナノレベルの構造物の立体形状を評価するための最も一般的な装置はAFMとなり
ます。例えば弊社もVeeco社のAFMを所有しており、ナノレベルの構造物測定では最
もよく用いる計測器の一つですが、対応できる測定領域に難があります。つま
り、大きな面積を全面検査するという用途には利用できません。あくまでもある一
点を「抜き出して」観察する道具です。また、他に良く用いる観察装置にSEMが有り
ますが、これも一般的には真空環境が必要、樹脂を観察する際には金属膜の蒸着が
必要となる、電子線が樹脂試料にダメージを与えるなど、全面を非破壊で検査する
には適していません。
Q:現在ある各種計測装置は、「ごく一部をとりだして観察するには適している
が、製品を全面検査するような用途には不向きである」ということですね。
A:その通りです。ですので、そういった既存の計測装置との組み合わせにはなりま
すが、「全面の検査」を行える装置が必要になります。
Q:ナノレベルの構造物が形成されたデバイスを、非破壊で全面検査できるような手
法があるのでしょうか？
A:ナノレベルの構造物、特にナノインプリントで形成されたパターンを3次元的かつ
高速に評価するためには、発想の転換が必要になります。平面的な形状もしくは平
面寸法のみであれば、図形をそのまま測定する方法も有るかもしれませんが、高さ
やエッジの形状・バリの評価など、ナノインプリントで作成される形状や欠陥
を、図形としてそのまま測定することは非現実的です。
Q:では具体的にどうすればいいのでしょうか？
A:寸法を寸法のまま測るのではなく、何らかの特性、例えば光学特性などに置き換
えてはかる方法が一つ考えられます。光の反射や回折の強度、角度を測定すること
で間接的に高さや幅、エッジの形状を測定することが可能です。弊社では、日本ミ
ニコンピュータシステム㈱の協力を得て、ナノ構造を持つデバイスの高速検査手法
の確立に取り組んでおります。
Q:しかしそれでは、一つ一つのパターンの形状を測定することは不可能では？
A:そうですね。パターンの一つ一つを測定することは、光を用いる方法では困難で
す。ですので、ある程度の面積（例えば５０ミクロン四角のエリア）の平均化され
た値を測定することになります。
Q:では、測定するパターンによって向き不向きがありそうですね？
A:その通りです。上記のような方法を一般的に「マクロ検査」と呼びますが、マク
ロ検査は、一定形状の繰り返し微細パターンの検査に威力を発揮します。たとえば
配線回路のようなパターンは、苦手な分野となります。
Q:マクロ検査の装置ということで、それがあれば他の測定器は不要なのでしょう
か？
A:いえ、マクロ検査では、あくまでも寸法自体を直接測定するわけではなく、寸法
の分布（相互差・ばらつき）を測定するものです。したがって、寸法自体を把握す
る場合には、従来の測定器（マクロ検査に対して、「ミクロ検査」）が必要となり
ます。
Q：形状の面内分布などを「マクロ検査」でチェックし、詳細な形状のピンポイント
評価には「ミクロ検査」を用いる、その組み合わせということでしょうか。
A:ご指摘の通りで、ナノスケールにおいて万能な計測手法はありません。「ミク
ロ」と「マクロ」2つの異なる測定手法を用いることで初めて、ナノ構造デバイスを
高速で検査することが可能となると考えられます。
以上、今回はナノインプリントと計測について簡単にご説明差し上げました。
日本ミニコンピュータシステム
㈱：http://www.minicom.co.jp/geoscan_pages/index_geoscan.htm
２．SCIVAXナノインプリントセミナーのご案内---------------------------------
おかげざまで、弊社セミナーは次回で11回目となります。
何度でもご参加いただけますので、お気軽にお越し下さい。
＜関東＞
10月の弊社KSPラボでのセミナーは、
10月20日 13：00-16：00
となります。奮ってご参加下さい。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html
今回は、いつも通りの弊社技術説明の後、日本VEECO㈱様より「ナノスケール計測技
術について」ご講演いただきます。
http://www.veeco.co.jp/
＜関西＞
10月31日 13：00-16：00
前回に引き続き、弊社代理店であります、丸文㈱関西支社にて実施いたします。
http://www.marubun.co.jp/product/electronics/event/qgc18e000000pjnc.html
講演パートナーは現在調整中ですが、金型関連メーカー様のご講演を予定しており
ます。お申し込みは、HPの申込用紙にご記入いただきFAXしていただく
か、[email protected]まで御氏名、御所属のご連絡をお願いいたします。
３．今週のトピック～弊社セミナー参加者の声から
＜9月15日セミナー＞
おかげさまで、17名の方にご参加いただき大盛況でした。当日は住友スリーエム㈱
の矢ノ目様より「ナノインプリント用離型剤について」ということで、同社のフッ
素樹脂製品「ノベック」他のご紹介をいただきました。ナノレベル（数ナノ）での
塗布が可能、アルカリによる除去が可能であり繰り返し塗布できる、などの特徴に
付きご説明をいただきました。塗布方法によっては、塗布ムラ、凝集が起きる点な
どが指摘され今後の課題とされていました。弊社から情報提供させていただいてい
る通り、金型寿命は物理的耐久性ではなく、汚染などの化学的な問題により決まる
と考えられますので、適切な離型剤や洗浄法の選定は必須です。
弊社においても、「ノベック」他複数の離型剤をテストしており、その評価結果
の公表も含め、離型剤については今後も情報を提供していきたいと考えておりま
す。
＜9月22セミナー＞
弊社代理店であります、丸文㈱の関西支社にて実施しました第一回の関西セミ
ナーも、多数の方にご参加いただきありがとうございました。当日は、ガラスイン
プリントに関する質問が多数出たほか、弊社の後にご講演いただいた日本ミニコン
ピュータシステム㈱のマクロ検査装置「GEOSCAN」についても、活発な議論がありま
した。「マクロ検査とは何か」ということから最新の検査データ解析手法「マルチ
モードムラ解析」まで、丁寧にご説明いただき、大変参考になる講演でした。10月
には、ナノインプリント用に解像度を向上した「GENSCAN nano」もラインアップさ
れるとのことで、ナノインプリントの分野において今後ますます普及する測定方法
になると思われます。
日本ミニコンピュータシステム
㈱：http://www.minicom.co.jp/geoscan_pages/index_geoscan.htm
４．ナノインプリント装置(X-200)レンタル開始--------------------------------
SCIVAXのプロセスノウハウを凝集させたインプリント装置（X-200）のレンタルを
開始いたします。「予算の都合で」、「まずデータを取ってから大口の予算申請を
したい」そういったご要望にお答えします。期間、費用等詳細は以下までお問い合
わせ下さい。
担当：金井 TEL：044-820-0551
mailto:[email protected]
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_4.html
５．ナノインプリント関連サービスに関しまして-------------------------------
お客様より大変ご好評を頂いております各種サービスにつきまして、以下の通り
ご案内申し上げます。ご興味のあるサービスに関してはご遠慮なくお問い合わせ下
さい。
□サンプル販売（ナノ加工フィルム、標準パターンサンプル、溝メッキサンプル、標
準金型、ナノ標準金型）
□金型受託加工（ニッケル金型製作、マスタ持込も可）
□材料販売（ナノインプリント用開発樹脂）
□装置販売（R＆D機：VXシリーズ、Xシリーズ）
□試作加工（SCIVAXで、協力会社で、レンタル機希望）
□共同開発（量産品生産）
mailto:[email protected] 担当：金井
TEL:044-820-0551
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_1.html
＜SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール登録＞
本メルマガの登録画面を設定致しましたので、ご興味をお持ちの方々にご紹介下さ
い。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_1.html
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