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SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール 2007年7月17日 No.40
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発信元：SCIVAX株式会社
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このメールは、当社技術に関しコンタクトさせて頂いた方々にお送りしておりま
す。SCIVAX社のナノインプリントを中心とする技術開発関連情報、対外発表ご案
内、アンケートなどを送信させて頂くものです。
配信の中止・変更などは、末尾のご案内をご参照下さい。
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ナノインプリント//////////////////////////////////////////////////////////
＜目次＞
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【最近のトピックより～ナノインプリントにおける基礎的な現象の解明】
１．【お打ち合わせご希望の節はぜひ事前にご連絡を！】
マイクロマシン展出展のお知らせ
http://www.micromachine.jp/
２．テクニカルレビュー内容概説【Vol.5】
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html
３．関連書籍情報「ナノインプリント応用事例集」
http://www.johokiko.co.jp/publishing/BB070901m.php
４．今後のセミナーのご案内
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html
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「シーズ情報からマーケティングへ」
詳細は↓
http://www.scivax.com/ip/seminar_summary.pdf
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【最近のトピックより】
7月3日に、カワサキテクノリサーチ様主催のナノインプリントセミナーで講演を
させていただきました。ご出席いただいた皆様方には厚く御礼を申し上げます。
さて、当日、大阪府立大学の平井先生と同席をさせていただきました。先生のナノ
インプリントに関する基礎的な検討のデータを拝見することができ、私自身にとっ
ても大変興味深い内容でした。
特に、樹脂物性・パタン形状とナノインプリント条件の関係について、深く検討
をされており、新たな知見が発表されていました。たとえば、これまで成形条件に
ついて、成形圧力が貯蔵弾性率に対応しているという知見が得られていましたが
（これも平井先生の御研究によるものです）、あらたに、成形時間に関しても、
貯蔵弾性率を成形圧力で除した（割った）ものに対応しているとのお話でした。
これは次元解析をすることで、ある程度の妥当性はもちろん推察できますが、先生
の御研究では、シミュレーションなどを用いて検証がなされています。
しかしながら、弊社で認識しているようなパタンサイズの増大に伴う成形条件の
変化に関しましては、まだ検討途中（まだ、そういった非線形性は考慮に入れられ
ていない）とのことで、今後も理論の精緻化に余地はまだまだありそうです。
振り返れば、昨年秋の成形加工学会でも、東京工業大学の斉藤先生から、ナノイ
ンプリントプロセスの可視化に関してご発表があり、その際に成形条件に関しても
種々の検討結果が公表されていました。また先生のご発表中には、離型温度に関す
る考察もあり、大変興味深いものでした。ナノインプリントの実用化には、こう
いった、基礎的な現象の解明が欠かせないと痛感した、発表でした。
今後も、このような成形・離型に関する原理的な解明状況につき、弊社でも継続
して追跡し、お客様にご報告させていただきたいと考えております。
楠浦
・・・・・・・・▼ 第18回 マイクロマシン/MEMS展出展！ ▼・・・・・・・・
来る、2007年7月25日（水）～ 27日（金）に、東京ビックサイトにて開催されま
す「第18回 マイクロマシン/MEMS展」に、出展いたします。弊社代理店の丸文㈱
と共同出展ですので、お間違えのないようにお願いします。
なお、会場でお打ち合わせをご希望の方は、ぜひあらかじめ弊社宛ご連絡くださ
い。
日時：2007年7月25日（水）～ 27日（金）
場所：東京ビックサイト
詳細：下記HPをご覧ください。
http://www.micromachine.jp/index.html
・・・・■ テクニカルレビュー内容概説【Vol.6:計測技術】 ■・・・・
おかげさまで、本メールマガジンを御読みいただいているお客様も、新たに多数
の方々に加わっていただいております。
そこで改めましてしばらくの間、「ナノインプリントテクニカルレビュー」の
内容概説を、シリーズで実施します。
今回は、第６回【Vol.6：計測技術】の概説です。
【一度、成形均一性の評価を！】
ナノレベルの構造物を手軽に作成できるのが、ナノインプリントの魅力ですが、
その形状測定、観察はまだまだ容易ではありません。
現状では、ミクロンからナノにわたる万能な計測・観察手段はなく、いくつかの
計測手段（レーザー顕微鏡、AFM、SEM等）を、パタンサイズや目的に応じて使い分
ける必要があります。
その中でも特に問題となるのは、ある程度の面積にわたって、形状のばらつきを
測定したい場合です。これまでは、SEMやAFM等でスポット的に測定をし、その測定
点数を増やすことで評価しておりましたが、あくまでも「点」での評価であり、統
計的に優位なデータを得るのが困難であり、大変時間がかかる点が問題でした。
現在弊社が注目しております、日本ミニコンピュータシステム㈱のマクロ検査シ
ステム「Geoscan-nano」では、反射光の強度分布から形状のばらつきを測定するた
め、非破壊で簡単に、かつ非常に高速に面内均一性のデータを取得することができ
ます。受託での評価も実施しているとのことですので、面内均一性の評価をしたい
という方は、一度検討されてはいかがでしょうか？
http://www.minicom.co.jp/geoscan/index.html
以上、今回は「計測技術」を取り上げました。
他、詳細は、以下をぜひご覧下さい。（購読無料。お申し込みは必要です。）
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html
・・・・・・▼ 関連書籍情報「ナノインプリント応用事例集」 ▼・・・・・・
この度、情報機構㈱より、ナノインプリントの実際の適用事例・アプリケーション
を中心とした解説書「ナノインプリント応用事例集」が発行されます。
弊社も一部寄稿させていただいており、これからナノインプリントを始められる
方から、現在取り組んでおられ、種々問題にお悩みの方まで幅広いユーザー様に
活用いただける書籍です。詳細は、下記HPをご覧ください。
ナノインプリントの可能性に迫る！☆ナノインプリント応用事例集☆
http://www.johokiko.co.jp/publishing/BB070901m.php
現在特価予約中！
LCD/有機EL/FED/PDP/LED/燃料電池/色素太陽電池等
⇒デバイスごとの応用事例や可能性を徹底詳述！
原理から各プロセスの特徴/課題や実験条件・長所短所・特許等を説明！
⇒「ナノインプリントとは？」という人もこれ一冊でＯＫ！
●材料：求められる材料特性とその評価技術とは？ 材料選択時の指標とは？
●装置：各装置の特徴やアライメント機構とは？ 装置性能を判断する上での確認事項とは？
●モールド：各モールドの作製技術とは？ 低コスト化のためには？
●プロセス： 高アスペクト比パターン成型技術とは？ 離型性を高める工夫とは？
●評価： 欠陥検査方法とは？ 3次元構造解析の手法とは？
●展望：解像度/コスト/位置合わせ/モールド等の方向性は？ 量産時期と課題は？
★他品種生産性は？/オフセット層の除去方法は？ 等よくあるＱ＆Ａ付き！
★巻末資料：ナノインプリント用装置・金型・転写材料・離型材・検査装置取り扱い企業一覧付き！
・・・・・・・・・・▼ 今後のセミナーのご案内 ▼・・・・・・・・・・
開催概要
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html
パートナー講演者講演のみのご参加、見学会のみのご参加も受け付けます。
【お知らせ】7月のセミナーは、おかげさまで大盛況でした。
＜8月のナノインプリント技術セミナー：大阪＞
■開催日時：8月24日 13：30-16：00
場所：メルパルク大阪
http://www.mielparque.or.jp/osk/osk01.html
講演パートナーは、ダイキン化成品販売㈱様より、ナノインプリント用フッ素系
離型剤に関してご講演いただきます。
＜8月のナノインプリント技術セミナー：KSP＞
■開催日時：8月22日 13：00-16：00
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html
いつものように弊社技術説明の後、今回は㈱協同インターナショナル様から、
「ナノインプリントトータルファウンダリーサービス（型、材料から成型まで）」
について、ご講演いただきます。その後、引き続き弊社ラボでの実機見学がござ
います。
＜実技研修A：KSP＞
■開催日時：9月6日～7日
今回で第３回、９月６日ＰＭ、７日全日 の1日半のコースです。
「実験がうまくいかない、正しいやり方を知りたい」
「装置導入前に技術内容を体験して把握しておきたい」
そんな要望にお答えします。金型・材料などはすべて弊社で準備いたしますので、
準備無しでＳＣＩＶＡＸのナノインプリントが体験できます。
詳細は、以下をご参照下さい。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html#kensyu
上記各セミナーのお申し込みは、HPの申込用紙にご記入いただきFAXしていただく
か、[email protected]まで御氏名、御所属のご連絡をお願いいたします。
＜SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール登録＞
本メルマガの登録画面を設定致しましたので、ご興味をお持ちの方々にご紹介
下さい。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_1.html
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