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SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール 2006年10月10日 No.21
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発信元：SCIVAX株式会社
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このメールは、当社技術に関しコンタクトさせて頂いた方々にお送りしておりま
す。SCIVAX社のナノインプリントを中心とする技術開発関連情報、対外発表ご案
内、アンケートなどを送信させて頂くものです。
配信の中止・変更などは、末尾のご案内をご参照下さい。
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ナノインプリント／---------------------------------------------------------
＜目次＞
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１．ナノインプリントと離型剤について
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html
２．SCIVAXナノインプリントセミナーのご案内
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html
３．今週のトピック～ナノインプリント関連特許から
４．ナノインプリント装置(X-200)レンタル
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_4.html
５．ナノインプリント関連サービス
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_1.html
ナノインプリント／---------------------------------------------------------
<<<SCIVAXはFPDインターナショナル2006に出展いたします！！！>>>
弊社は、来る10月18日からパシフィコ横浜にて開催されます「FPDインターナショ
ナル2006」に出展いたします。
http://expo.nikkeibp.co.jp/fpd/
また、同展示会にて10月19日に開催されますテクニカルセッションBにて、13：30
から「SCIVAXのナノインプリント技術」－ナノ光学デバイス実現に向けて」と題し
ましてこれまでの研究成果を発表させていただきます。ぜひお越しいただけますよ
うよろしくお願いします。
http://expo.nikkeibp.co.jp/fpd/japanese/technical.html
<<<10月3日化学工業日報11面に弊社記事が掲載されました！！！>>>
弊社の金型に関する取り組みが、10月3日付の化学工業日報11面に掲載されまし
た。ナノインプリント検討用に弊社金型をぜひご活用下さい。量産を考慮したNi金
型を供給させていただいております。
http://www.scivax.com/nil/what%27snew/press.html
１．ナノインプリントと離型剤について-------------------------------------
今回は、先日のセミナーでも住友３M㈱様からご紹介いただいた「ナノインプリン
ト用離型剤」について、簡単にまとめてみました。今後量産を考えた場合の型の清
浄度管理のためにも、ますます離型剤は重要になってくると考えられます。
Q:まず、離型剤は必要なのでしょうか？
A:一般的には、特に小さなパターンになればなるほど離型剤が欠かせないと考えて
おります。これは、体積に比べて表面積が増大するため、表面力が現象を支配する
ようになるからです。
Q:離型剤にはどのようなものがあるのでしょうか？
A:現在弊社が試験をしている範囲でも、７－８種類の離型剤が存在します。ドラ
イ・ウエットの塗布方法による違い、材料（フッ素系、アルキル系）等様々なもの
があります。ウエット系は上述の住友３M㈱の他、ダイキン工業㈱、旭硝子㈱、日本
曹達㈱等、ドライ系は㈱ティーアンドケー等から供給されています。
Q:選定の目安はどのようなものでしょうか？
A:まずは、手軽さという点ではウエット系が自社内で処理が可能なためトライしや
すいかと思います。またその中でも性能はフッ素系が特に耐熱性の点で良好で
す。２００℃程度までは問題なく使用できます。ただし、離型剤は少しずつ剥離して
転写されていくと考えられますので、例えばバイオ用途などどうしてもフッ素系を
使いたくない場合には、アルキル系（日本曹達㈱から供給されています）を用いる
のがよいかと思われます。また、パタンサイズが細かい場合は、塗布厚みを薄く出
来る単分子膜系を選定する必要があります。
Q:寿命はどの程度あるのでしょうか？
A:条件にもよりますので、定量的な評価は難しいですね。弊社で加速試験を行った
結果から考えますと、少なくとも数百回程度は性能を維持できるのではないかと考
えています。しかし、離型性があがるからといって過酷な条件（高温、高圧）での
インプリントは、型の寿命の点からも好ましくありません。まずは、樹脂の物性を
考慮し適正な条件でインプリントを行い、その上で離型剤の効果を考えるのが良い
のではないでしょうか。樹脂物性とインプリント条件についての詳しい理論は弊社
テクニカルレビュー
（http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html）のVol.3を参照下さ
い。
Q:性能が劣化した場合。塗り直しはできるのでしょうか？また塗りなおす際に注意
する点は？
A:一度残存分を除去する必要があります。離型剤によっても異なるかとは思います
が、一般的にはアルカリ溶剤浸漬もしくはUV光照射によって、比較的容易に除去で
きます。詳細は各メーカーにお問い合わせ下さい。
以上、今回は離型剤に関するQ&Aでした。
２．SCIVAXナノインプリントセミナーのご案内---------------------------------
おかげざまで、弊社セミナーは次回で11回目となります。
何度でもご参加いただけますので、お気軽にお越し下さい。
＜関東＞
10月の弊社KSPラボでのセミナーは、
10月20日 13：00-16：00
となります。奮ってご参加下さい。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html
今回は、いつも通りの弊社技術説明の後、日本VEECO㈱様より「ナノスケール計測技
術について」ご講演いただきます。
http://www.veeco.co.jp/
＜関西＞
10月31日 13：00-16：00
前回に引き続き、弊社代理店であります、丸文㈱関西支社にて実施いたします。
http://www.marubun.co.jp/product/electronics/event/qgc18e000000pjnc.html
講演パートナーは大日本印刷様となります。「ナノインプリント用金型につい
て」ご講演いただきます。
お申し込みは、HPの申込用紙にご記入いただきFAXしていただく
か、[email protected]まで御氏名、御所属のご連絡をお願いいたします。
３．今週のトピック～ナノインプリント関連特許より
今週は、2006年4月から6月に出願された特許の中からトピックを紹介したいと思
います。今回は、今後の量産化に向けて大きな課題の一つとされる金型のメンテナ
ンスについての特許例として、富士写真フィルム㈱の特開2006-107595を取り上げま
す。弊社調査では、量産化を目指すお客様すべてが、金型のメンテナンス・洗浄が
大きな問題であると指摘しておられます。
当該特許は、磁気転写用原盤の洗浄技術に関する特許となっていますが、本文中
にナノインプリント等にも用いることが出来るとなっています。洗浄方法はドライ
アイスなどのエアロゾルを噴霧する方法となっており、装置に取り付けた状態での
洗浄を想定しているようです。
詳細は、ぜひ特許庁のサイトからお読み下さい。（検索
は、http://www.ipdl.ncipi.go.jp/Tokujitu/tokujitu.htm より可能です。）これ
までに金型の洗浄に関する特許はほとんど出されていませんが、今後の量産化を考
えると、周辺分野からの応用も含め出願は増加するものと思われます。
４．ナノインプリント装置(X-200)レンタル開始--------------------------------
SCIVAXのプロセスノウハウを凝集させたインプリント装置（X-200）のレンタルを
開始いたします。「予算の都合で」、「まずデータを取ってから大口の予算申請を
したい」そういったご要望にお答えします。期間、費用等詳細は以下までお問い合
わせ下さい。
担当：金井 TEL：044-820-0551
mailto:[email protected]
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_4.html
５．ナノインプリント関連サービスに関しまして-------------------------------
お客様より大変ご好評を頂いております各種サービスにつきまして、以下の通り
ご案内申し上げます。ご興味のあるサービスに関してはご遠慮なくお問い合わせ下
さい。
□サンプル販売（ナノ加工フィルム、標準パターンサンプル、溝メッキサンプル、標
準金型、ナノ標準金型）
□金型受託加工（ニッケル金型製作、マスタ持込も可）
□材料販売（ナノインプリント用開発樹脂）
□装置販売（R＆D機：VXシリーズ、Xシリーズ）
□試作加工（SCIVAXで、協力会社で、レンタル機希望）
□共同開発（量産品生産）
mailto:[email protected] 担当：金井
TEL:044-820-0551
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_1.html
＜SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール登録＞
本メルマガの登録画面を設定致しましたので、ご興味をお持ちの方々にご紹介下さ
い。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_1.html
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