SCIVAXナノインプリント技術

メールマガジン（第21号）

---------------------------------------------------------------------------
SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール　2006年10月10日　No.21
---------------------------------------------------------------------------
発信元：SCIVAX株式会社

***************************************************************************
このメールは、当社技術に関しコンタクトさせて頂いた方々にお送りしておりま
す。SCIVAX社のナノインプリントを中心とする技術開発関連情報、対外発表ご案
内、アンケートなどを送信させて頂くものです。
配信の中止・変更などは、末尾のご案内をご参照下さい。
***************************************************************************

ナノインプリント／---------------------------------------------------------
　　　　　　　　　　　　　　   ＜目次＞
---------------------------------------------------------------------------
１．ナノインプリントと離型剤について
　　http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html

２．SCIVAXナノインプリントセミナーのご案内
　　http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html

３．今週のトピック～ナノインプリント関連特許から

４．ナノインプリント装置(X-200)レンタル
　　http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_4.html

５．ナノインプリント関連サービス
　　http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_1.html

ナノインプリント／---------------------------------------------------------

<<<SCIVAXはFPDインターナショナル2006に出展いたします！！！>>>
　弊社は、来る10月18日からパシフィコ横浜にて開催されます「FPDインターナショ
ナル2006」に出展いたします。
http://expo.nikkeibp.co.jp/fpd/
　また、同展示会にて10月19日に開催されますテクニカルセッションBにて、13：30
から「SCIVAXのナノインプリント技術」－ナノ光学デバイス実現に向けて」と題し
ましてこれまでの研究成果を発表させていただきます。ぜひお越しいただけますよ
うよろしくお願いします。
http://expo.nikkeibp.co.jp/fpd/japanese/technical.html

<<<10月3日化学工業日報11面に弊社記事が掲載されました！！！>>>
　弊社の金型に関する取り組みが、10月3日付の化学工業日報11面に掲載されまし
た。ナノインプリント検討用に弊社金型をぜひご活用下さい。量産を考慮したNi金
型を供給させていただいております。
http://www.scivax.com/nil/what%27snew/press.html

１．ナノインプリントと離型剤について-------------------------------------
　今回は、先日のセミナーでも住友３M㈱様からご紹介いただいた「ナノインプリン
ト用離型剤」について、簡単にまとめてみました。今後量産を考えた場合の型の清
浄度管理のためにも、ますます離型剤は重要になってくると考えられます。

Q:まず、離型剤は必要なのでしょうか？
A:一般的には、特に小さなパターンになればなるほど離型剤が欠かせないと考えて
おります。これは、体積に比べて表面積が増大するため、表面力が現象を支配する
ようになるからです。

Q:離型剤にはどのようなものがあるのでしょうか？
A:現在弊社が試験をしている範囲でも、７－８種類の離型剤が存在します。ドラ
イ・ウエットの塗布方法による違い、材料（フッ素系、アルキル系）等様々なもの
があります。ウエット系は上述の住友３M㈱の他、ダイキン工業㈱、旭硝子㈱、日本
曹達㈱等、ドライ系は㈱ティーアンドケー等から供給されています。

Q:選定の目安はどのようなものでしょうか？
A:まずは、手軽さという点ではウエット系が自社内で処理が可能なためトライしや
すいかと思います。またその中でも性能はフッ素系が特に耐熱性の点で良好で
す。２００℃程度までは問題なく使用できます。ただし、離型剤は少しずつ剥離して
転写されていくと考えられますので、例えばバイオ用途などどうしてもフッ素系を
使いたくない場合には、アルキル系（日本曹達㈱から供給されています）を用いる
のがよいかと思われます。また、パタンサイズが細かい場合は、塗布厚みを薄く出
来る単分子膜系を選定する必要があります。

Q:寿命はどの程度あるのでしょうか？
A:条件にもよりますので、定量的な評価は難しいですね。弊社で加速試験を行った
結果から考えますと、少なくとも数百回程度は性能を維持できるのではないかと考
えています。しかし、離型性があがるからといって過酷な条件（高温、高圧）での
インプリントは、型の寿命の点からも好ましくありません。まずは、樹脂の物性を
考慮し適正な条件でインプリントを行い、その上で離型剤の効果を考えるのが良い
のではないでしょうか。樹脂物性とインプリント条件についての詳しい理論は弊社
テクニカルレビュー
（http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html）のVol.3を参照下さ
い。

Q:性能が劣化した場合。塗り直しはできるのでしょうか？また塗りなおす際に注意
する点は？
A:一度残存分を除去する必要があります。離型剤によっても異なるかとは思います
が、一般的にはアルカリ溶剤浸漬もしくはUV光照射によって、比較的容易に除去で
きます。詳細は各メーカーにお問い合わせ下さい。

以上、今回は離型剤に関するQ&Aでした。

２．SCIVAXナノインプリントセミナーのご案内---------------------------------
おかげざまで、弊社セミナーは次回で11回目となります。
何度でもご参加いただけますので、お気軽にお越し下さい。

＜関東＞
10月の弊社KSPラボでのセミナーは、
10月20日　13：00-16：00
となります。奮ってご参加下さい。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html
今回は、いつも通りの弊社技術説明の後、日本VEECO㈱様より「ナノスケール計測技
術について」ご講演いただきます。
http://www.veeco.co.jp/

＜関西＞
10月31日　13：00-16：00
前回に引き続き、弊社代理店であります、丸文㈱関西支社にて実施いたします。
http://www.marubun.co.jp/product/electronics/event/qgc18e000000pjnc.html
講演パートナーは大日本印刷様となります。「ナノインプリント用金型につい
て」ご講演いただきます。

　お申し込みは、HPの申込用紙にご記入いただきFAXしていただく
か、[email protected]まで御氏名、御所属のご連絡をお願いいたします。

３．今週のトピック～ナノインプリント関連特許より
　今週は、2006年4月から6月に出願された特許の中からトピックを紹介したいと思
います。今回は、今後の量産化に向けて大きな課題の一つとされる金型のメンテナ
ンスについての特許例として、富士写真フィルム㈱の特開2006-107595を取り上げま
す。弊社調査では、量産化を目指すお客様すべてが、金型のメンテナンス・洗浄が
大きな問題であると指摘しておられます。
　当該特許は、磁気転写用原盤の洗浄技術に関する特許となっていますが、本文中
にナノインプリント等にも用いることが出来るとなっています。洗浄方法はドライ
アイスなどのエアロゾルを噴霧する方法となっており、装置に取り付けた状態での
洗浄を想定しているようです。
　詳細は、ぜひ特許庁のサイトからお読み下さい。（検索
は、http://www.ipdl.ncipi.go.jp/Tokujitu/tokujitu.htm　より可能です。）これ
までに金型の洗浄に関する特許はほとんど出されていませんが、今後の量産化を考
えると、周辺分野からの応用も含め出願は増加するものと思われます。

４．ナノインプリント装置(X-200)レンタル開始--------------------------------
　SCIVAXのプロセスノウハウを凝集させたインプリント装置（X-200）のレンタルを
開始いたします。「予算の都合で」、「まずデータを取ってから大口の予算申請を
したい」そういったご要望にお答えします。期間、費用等詳細は以下までお問い合
わせ下さい。
担当：金井　TEL：044-820-0551
mailto:[email protected]
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_4.html

５．ナノインプリント関連サービスに関しまして-------------------------------
　お客様より大変ご好評を頂いております各種サービスにつきまして、以下の通り
ご案内申し上げます。ご興味のあるサービスに関してはご遠慮なくお問い合わせ下
さい。
□サンプル販売（ナノ加工フィルム、標準パターンサンプル、溝メッキサンプル、標
準金型、ナノ標準金型）
□金型受託加工（ニッケル金型製作、マスタ持込も可）
□材料販売（ナノインプリント用開発樹脂）
□装置販売（R＆D機：VXシリーズ、Xシリーズ）
□試作加工（SCIVAXで、協力会社で、レンタル機希望）
□共同開発（量産品生産）
mailto:[email protected]　担当：金井
TEL:044-820-0551
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_1.html

＜SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール登録＞
本メルマガの登録画面を設定致しましたので、ご興味をお持ちの方々にご紹介下さ
い。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_1.html

メールマガジン（第20号）

---------------------------------------------------------------------------
SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール　2006年9月25日　No.20
---------------------------------------------------------------------------
発信元：SCIVAX株式会社

***************************************************************************
このメールは、当社技術に関しコンタクトさせて頂いた方々にお送りしておりま
す。SCIVAX社のナノインプリントを中心とする技術開発関連情報、対外発表ご案
内、アンケートなどを送信させて頂くものです。
配信の中止・変更などは、末尾のご案内をご参照下さい。
***************************************************************************

ナノインプリント／---------------------------------------------------------
　　　　　　　　　　　　　　   ＜目次＞
---------------------------------------------------------------------------
１．ナノインプリントと計測装置について（Q&A)
　　http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html

２．SCIVAXナノインプリントセミナーのご案内
　　http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html

３．今週のトピック～弊社セミナーより
　　http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html

４．ナノインプリント装置(X-200)レンタル
　　http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_4.html

５．ナノインプリント関連サービス
　　http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_1.html

ナノインプリント／---------------------------------------------------------

<<<SCIVAXはFPDインターナショナル2006に出展いたします>>>
　弊社は、来る10月18日からパシフィコ横浜にて開催されます「FPDインターナショ
ナル2006」に出展いたします。
http://expo.nikkeibp.co.jp/fpd/
　また、同展示会にて10月19日に開催されますテクニカルセッションBにて、13：30
から「SCIVAXのナノインプリント技術」－ナノ光学デバイス実現に向けて」と題し
ましてこれまでの研究成果を発表させていただきます。ぜひお越しいただけますよ
うよろしくお願いします。
http://expo.nikkeibp.co.jp/fpd/japanese/technical.html

１．ナノインプリントと計測装置について-------------------------------------
　ナノインプリントの実用化が間近になる中、特に問題となっているのが検査法の
問題です。弊社ではこの問題にいち早く取り組み、マクロ検査手法とミクロ検査手
法を併用することを検討しております。今回は、先般開催いたしましたナノインプ
リントセミナーにて紹介がありました、ナノインプリントの研究開発・製造プロセ
ス管理に最適な検査装置「GEOSCAN」（日本ミニコンピュータ㈱）のご紹介を兼ね
て、計測・検査手法について簡単にまとめてみました。

Q:「ナノインプリントと計測装置」ということですが、何か特殊な計測装置が必要
なのでしょうか？
A:まず、今一般的に使われている計測装置について考えてみましょう。たとえ
ば、ナノレベルの構造物の立体形状を評価するための最も一般的な装置はAFMとなり
ます。例えば弊社もVeeco社のAFMを所有しており、ナノレベルの構造物測定では最
もよく用いる計測器の一つですが、対応できる測定領域に難があります。つま
り、大きな面積を全面検査するという用途には利用できません。あくまでもある一
点を「抜き出して」観察する道具です。また、他に良く用いる観察装置にSEMが有り
ますが、これも一般的には真空環境が必要、樹脂を観察する際には金属膜の蒸着が
必要となる、電子線が樹脂試料にダメージを与えるなど、全面を非破壊で検査する
には適していません。

Q:現在ある各種計測装置は、「ごく一部をとりだして観察するには適している
が、製品を全面検査するような用途には不向きである」ということですね。
A:その通りです。ですので、そういった既存の計測装置との組み合わせにはなりま
すが、「全面の検査」を行える装置が必要になります。

Q:ナノレベルの構造物が形成されたデバイスを、非破壊で全面検査できるような手
法があるのでしょうか？
A:ナノレベルの構造物、特にナノインプリントで形成されたパターンを3次元的かつ
高速に評価するためには、発想の転換が必要になります。平面的な形状もしくは平
面寸法のみであれば、図形をそのまま測定する方法も有るかもしれませんが、高さ
やエッジの形状・バリの評価など、ナノインプリントで作成される形状や欠陥
を、図形としてそのまま測定することは非現実的です。

Q:では具体的にどうすればいいのでしょうか？
A:寸法を寸法のまま測るのではなく、何らかの特性、例えば光学特性などに置き換
えてはかる方法が一つ考えられます。光の反射や回折の強度、角度を測定すること
で間接的に高さや幅、エッジの形状を測定することが可能です。弊社では、日本ミ
ニコンピュータシステム㈱の協力を得て、ナノ構造を持つデバイスの高速検査手法
の確立に取り組んでおります。

Q:しかしそれでは、一つ一つのパターンの形状を測定することは不可能では？
A:そうですね。パターンの一つ一つを測定することは、光を用いる方法では困難で
す。ですので、ある程度の面積（例えば５０ミクロン四角のエリア）の平均化され
た値を測定することになります。

Q:では、測定するパターンによって向き不向きがありそうですね？
A:その通りです。上記のような方法を一般的に「マクロ検査」と呼びますが、マク
ロ検査は、一定形状の繰り返し微細パターンの検査に威力を発揮します。たとえば
配線回路のようなパターンは、苦手な分野となります。

Q:マクロ検査の装置ということで、それがあれば他の測定器は不要なのでしょう
か？
A:いえ、マクロ検査では、あくまでも寸法自体を直接測定するわけではなく、寸法
の分布（相互差・ばらつき）を測定するものです。したがって、寸法自体を把握す
る場合には、従来の測定器（マクロ検査に対して、「ミクロ検査」）が必要となり
ます。

Q：形状の面内分布などを「マクロ検査」でチェックし、詳細な形状のピンポイント
評価には「ミクロ検査」を用いる、その組み合わせということでしょうか。
A:ご指摘の通りで、ナノスケールにおいて万能な計測手法はありません。「ミク
ロ」と「マクロ」2つの異なる測定手法を用いることで初めて、ナノ構造デバイスを
高速で検査することが可能となると考えられます。

以上、今回はナノインプリントと計測について簡単にご説明差し上げました。
日本ミニコンピュータシステム
㈱：http://www.minicom.co.jp/geoscan_pages/index_geoscan.htm

２．SCIVAXナノインプリントセミナーのご案内---------------------------------
おかげざまで、弊社セミナーは次回で11回目となります。
何度でもご参加いただけますので、お気軽にお越し下さい。

＜関東＞
10月の弊社KSPラボでのセミナーは、
10月20日　13：00-16：00
となります。奮ってご参加下さい。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html
今回は、いつも通りの弊社技術説明の後、日本VEECO㈱様より「ナノスケール計測技
術について」ご講演いただきます。
http://www.veeco.co.jp/

＜関西＞
10月31日　13：00-16：00
前回に引き続き、弊社代理店であります、丸文㈱関西支社にて実施いたします。
http://www.marubun.co.jp/product/electronics/event/qgc18e000000pjnc.html
講演パートナーは現在調整中ですが、金型関連メーカー様のご講演を予定しており
ます。お申し込みは、HPの申込用紙にご記入いただきFAXしていただく
か、[email protected]まで御氏名、御所属のご連絡をお願いいたします。

３．今週のトピック～弊社セミナー参加者の声から
＜9月15日セミナー＞
おかげさまで、17名の方にご参加いただき大盛況でした。当日は住友スリーエム㈱
の矢ノ目様より「ナノインプリント用離型剤について」ということで、同社のフッ
素樹脂製品「ノベック」他のご紹介をいただきました。ナノレベル（数ナノ）での
塗布が可能、アルカリによる除去が可能であり繰り返し塗布できる、などの特徴に
付きご説明をいただきました。塗布方法によっては、塗布ムラ、凝集が起きる点な
どが指摘され今後の課題とされていました。弊社から情報提供させていただいてい
る通り、金型寿命は物理的耐久性ではなく、汚染などの化学的な問題により決まる
と考えられますので、適切な離型剤や洗浄法の選定は必須です。
　弊社においても、「ノベック」他複数の離型剤をテストしており、その評価結果
の公表も含め、離型剤については今後も情報を提供していきたいと考えておりま
す。

＜9月22セミナー＞
　弊社代理店であります、丸文㈱の関西支社にて実施しました第一回の関西セミ
ナーも、多数の方にご参加いただきありがとうございました。当日は、ガラスイン
プリントに関する質問が多数出たほか、弊社の後にご講演いただいた日本ミニコン
ピュータシステム㈱のマクロ検査装置「GEOSCAN」についても、活発な議論がありま
した。「マクロ検査とは何か」ということから最新の検査データ解析手法「マルチ
モードムラ解析」まで、丁寧にご説明いただき、大変参考になる講演でした。10月
には、ナノインプリント用に解像度を向上した「GENSCAN nano」もラインアップさ
れるとのことで、ナノインプリントの分野において今後ますます普及する測定方法
になると思われます。
日本ミニコンピュータシステム
㈱：http://www.minicom.co.jp/geoscan_pages/index_geoscan.htm

４．ナノインプリント装置(X-200)レンタル開始--------------------------------
　SCIVAXのプロセスノウハウを凝集させたインプリント装置（X-200）のレンタルを
開始いたします。「予算の都合で」、「まずデータを取ってから大口の予算申請を
したい」そういったご要望にお答えします。期間、費用等詳細は以下までお問い合
わせ下さい。
担当：金井　TEL：044-820-0551
mailto:[email protected]
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_4.html

５．ナノインプリント関連サービスに関しまして-------------------------------
　お客様より大変ご好評を頂いております各種サービスにつきまして、以下の通り
ご案内申し上げます。ご興味のあるサービスに関してはご遠慮なくお問い合わせ下
さい。
□サンプル販売（ナノ加工フィルム、標準パターンサンプル、溝メッキサンプル、標
準金型、ナノ標準金型）
□金型受託加工（ニッケル金型製作、マスタ持込も可）
□材料販売（ナノインプリント用開発樹脂）
□装置販売（R＆D機：VXシリーズ、Xシリーズ）
□試作加工（SCIVAXで、協力会社で、レンタル機希望）
□共同開発（量産品生産）
mailto:[email protected]　担当：金井
TEL:044-820-0551
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_1.html

＜SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール登録＞
本メルマガの登録画面を設定致しましたので、ご興味をお持ちの方々にご紹介下さ
い。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_1.html

メールマガジン（第19号）

---------------------------------------------------------------------------
SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール　2006年9月11日　No.19
---------------------------------------------------------------------------
発信元：SCIVAX株式会社　

***************************************************************************
このメールは、当社技術に関しコンタクトさせて頂いた方々にお送りしております。SCIVAX社のナノインプリントを中心とする技術開発関連情報、対外発表ご案内、アンケートなどを送信させて頂くものです。
配信の中止・変更などは、末尾のご案内をご参照下さい。
***************************************************************************

　　　　
ナノインプリント／---------------------------------------------------------
　　　　　　　　　　　　　　   ＜目次＞
---------------------------------------------------------------------------
１．ＳＣＩＶＡＸナノインプリント用樹脂について（Q&A)
　　http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html

２．SCIVAXナノインプリントセミナーのご案内
　　http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html

３．今週のトピック～ナノインプリント最新特許動向について

４．ナノインプリント装置(X-200)レンタル
　　http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_4.html

５．ナノインプリント関連サービス
　　http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_1.html 
ナノインプリント／---------------------------------------------------------

１．ナノインプリント用樹脂材料について-------------------------------------
　先般開催されました「応用物理学会ナノインプリント研究会」でも、ナノインプリント用樹脂がテーマの発表がございました。ナノインプリントと樹脂物性の関係について、最近注目が集まっているようです。今回は、そういった流れを受けましてナノインプリント用樹脂材料についてご説明いたします。

Ｑ：熱ナノインプリントと材料について、教えてください。またなぜ材料が重要なのでしょうか？
Ａ：そもそも熱式ナノインプリントのメリットは材料の選択肢がひろいことにあります。光式では光硬化性樹脂に限られますが、熱式であれば熱可塑性樹脂に広く適用が可能です。これにより光学デバイスからバイオ、電子部品に至るまで幅広いアプリケーションに対応することが出来ます。

Ｑ：熱可塑性樹脂であればなんでも良いのでしょうか？
Ａ：原理的にはそうなのですが、我々の経験では熱可塑性樹脂であればなんでもよい、というわけでは無いこともわかっております。例えば延伸したフィルムはインプリントに適さないことがわかっております。こういったことも樹脂に関する基本的な知識があれば直ぐわかることです。樹脂についてすこし事前に調べておくことでトラブルを回避することが出来ます。
　もっとも現時点では樹脂メーカー様でもこういったことをご存知ない場合が多く、問い合わせてもわからないこともありますので、ナノインプリント用に樹脂を販売しているメーカーに問合せる必要があります。勿論お客様も皆お忙しいので、弊社で樹脂開発、選定まで手掛けることでお手伝いをさせていただいております。

Ｑ：成型する前に、樹脂について何をどう調べればよいのでしょうか？
Ａ：ナノインプリントにおいて、成型条件と樹脂物性には一定の関係が有ることが知られています。一般的に市販されているレオメーターという装置を用いて、まず樹脂の粘弾性特性（レオロジーデータ）を取ることが先決です。データの分析方法などについては、弊社ＨＰの「テクニカルレビューVol.3, Vol.4」に詳しく記載しております。お申し込みが必要ですが、購読は無償です。下記をご参照下さい。
・申し込み画面：http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html
・テクニカルレビュー目次：http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html

Ｑ：開発した樹脂について教えてください。
Ａ：上記のレオロジーデータ分析を元に、成型性能を向上させた樹脂を開発しました。特徴は、以下の3点となっております。

①高スループット
　同一Ｔｇ品でもより低温での成型が可能であるため、熱サイクルが短縮されスループットが向上します。

②品質向上
　より低圧の成型が可能となり、歪が少なく品質の良い成型品が得られます。また金型の負荷を低減し、金型寿命の向上が期待できます。

③金型保護
　離形性が向上し、離形不良/バリ/取られ/型への詰まり・付着などを低減、歩留まりが向上します。金型洗浄間隔を少なくすることが出来、メンテナンスコストが低減できるため、ランニングコストを削減できます。また、微細な金型は洗浄時に傷付きなどのトラブルが発生するケースが多いですが、そのようなトラブルも低減できます。

Ｑ：開発樹脂を成型してみたいのですが、サンプルなどは入手できるのでしょうか？
Ａ：はい。現在有償でサンプルを配布し多くのお客様に評価をいただいております。従来樹脂ではバリがでる、均一成型できない、まったく剥離できない、などの問題をお持ちのお客様からお問い合わせを多くいただいております。

Ｑ：どういったサンプルが入手可能でしょうか？例えばフィルムは入手可能でしょうか？
Ａ：現時点では、　①溶液タイプ　②板状（１ｍｍ厚み）　となっております。フィルムについては、現在１００ミクロン厚みのものを準備中です。

以上、ナノインプリント用材料についてのご紹介でした。お問い合わせは、[email protected]までお願い申し上げます。

２．SCIVAXナノインプリントセミナーのご案内---------------------------------
おかげざまで、弊社セミナーは次回で10回目となります。
次回のセミナーも満席が近くなっておりますので、ご希望の方はお早めにお願いいたします。

＜関東＞
9月15日　13：00-16：00
おかげさまで満員となりましたので、募集を締め切らせていただきます。今回は、住友３Ｍ㈱様に離型剤についてのご講演をいただきます。

10月は、
10月20日　13：00-16：00
となります。奮ってご参加下さい。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html

＜関西＞
9月22日　13：00-16：00
弊社代理店であります、丸文㈱関西支社にて実施いたします。今回は、画期的なマクロ検査装置「ＧＥＯＳＣＡＮ」を開発された日本ミニコンピュータシステム様に、ナノインプリントにおけるマクロ検査技術についてご講演いただきます。
http://www.marubun.co.jp/product/electronics/event/qgc18e000000pjnc.html

お申し込みは、HPの申込用紙にご記入いただきFAXしていただくか、[email protected]まで御指名、御所属をご連絡をお願いいたします。

３．今週のトピック
　今回は、ナノインプリント関連の特許動向について最新の動向をご報告いたします。2006.03.31までの特許動向につきまして詳細は「テクニカルレビューVol.7」をご覧下さい。
・申し込み画面：http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html
・テクニカルレビュー目次：http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html

＜これまでの動向＞
　テクニカルレビューに記載したとおり、東芝、ＴＤＫ等の各社による高密度ＨＤＤへのナノインプリント技術の適用に関する特許が多数を占めている。また、アプリケーションに関する特許が５０％と多数を占めるが、装置や金型に関する特許も増加しており、研究開発が進展していることが伺われる。

＜2006年第２四半期の動向＞
　特筆すべき傾向としては、材料メーカー各社からの出願数が増加していることが挙げられる。出願数の多い順から以下の通りとなっている。
①旭硝子㈱：６件
②日立化成工業㈱：６件
③ＪＳＲ㈱：２件

　次回は、第２四半期の特許の中から特徴的な特許を取り上げて、動向についてさらに分析をいたします。

４．ナノインプリント装置(X-200)レンタル開始--------------------------------
　SCIVAXのプロセスノウハウを凝集させたインプリント装置（X-200）のレンタルを開始いたします。「予算の都合で」、「まずデータを取ってから大口の予算申請をしたい」そういったご要望にお答えします。期間、費用等詳細は以下までお問い合わせ下さい。
担当：金井　TEL：044-820-0551
mailto:[email protected]　　
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_4.html

５．ナノインプリント関連サービスに関しまして-------------------------------
　お客様より大変ご好評を頂いております各種サービスにつきまして、以下の通りご案内申し上げます。ご興味のあるサービスに関してはご遠慮なくお問い合わせ下さい。
□サンプル販売（ナノ加工フィルム、標準パターンサンプル、溝メッキサンプル、標準金型、ナノ標準金型）
□金型受託加工（ニッケル金型製作、マスタ持込も可）
□材料販売（ナノインプリント用開発樹脂）
□装置販売（R＆D機：VXシリーズ、Xシリーズ）
□試作加工（SCIVAXで、協力会社で、レンタル機希望）
□共同開発（量産品生産）
mailto:[email protected]　担当：金井
TEL:044-820-0551
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_1.html

＜SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール登録＞
本メルマガの登録画面を設定致しましたので、ご興味をお持ちの方々にご紹介下さい。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_1.html

メールマガジン（第18号）

---------------------------------------------------------------------------
SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール　2006年8月28日　No.18
---------------------------------------------------------------------------
発信元：SCIVAX株式会社　

***************************************************************************
このメールは、当社技術に関しコンタクトさせて頂いた方々にお送りしております。SCIVAX社のナノインプリントを中心とする技術開発関連情報、対外発表ご案内、アンケートなどを送信させて頂くものです。
配信の中止・変更などは、末尾のご案内をご参照下さい。
***************************************************************************

　　　　
ナノインプリント／---------------------------------------------------------
　　　　　　　　　　　　　　   ＜目次＞
---------------------------------------------------------------------------
１．ＳＣＩＶＡＸナノインプリント用Ｎｉ電鋳金型に関し（Q&A)
　　http://www.scivax.com/nil/joho/joho_2.html

２．SCIVAXナノインプリントセミナーのご案内
　　http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html

３．開催セミナーに関するご報告とお礼

４．ナノインプリント装置(X-200)レンタルに関し
　　http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_4.html

５．ナノインプリント関連サービスに関し
　　http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_1.html
 
ナノインプリント／---------------------------------------------------------
１．ＳＣＩＶＡＸナノインプリント用Ｎｉ電鋳金型に関し（Q&A)-----------------
今回は、最近問い合わせが非常に多い「ＳＣＩＶＡＸナノインプリント用Ｎｉ電鋳金型」について、開発及び営業担当者の金井から説明させていただきます。

Ｑ：なぜ、Ｎｉ電鋳金型なのでしょうか？
Ａ：初期は一般的にＳｉや石英の型を使われる例が多いのですが、パターンによってはすぐに壊れるため再現性のある実験が出来ない、量産技術として検討しているので使いたくない、という要望が多くなっています。弊社では、そういった問題に会社設立当初から取り組み、現在、ナノレベルの型も電鋳で製造できることを確認しております。

Ｑ：標準的なパターンを準備している理由は？
Ａ：ナノインプリントでは、実は金型とともに材料の選定が重要になります。樹脂物性をよく把握してテストをすることがまず必要ですが、その際に、標準的なパターンを用いて種々の材料・種々の成型条件を継続的に検討する必要があります。また、条件選定の際に、弊社での成型データも活用できるのもお客様にとって大きなメリットです。

Ｑ：具体的にはどのようなパターンですか？
Ａ：概略申し上げますと、サイズは５００ナノメートルから１０ミクロン、パターン形状はラインアンドスペース、ホール（穴）、ドット（突起）が入っています。
パターン形状、レイアウトに関しては下のURLから概要をご覧いただけます。
http://www.scivax.com/nil/techno/mold_3_1.html
メールをいただけましたら、仕様書をお送りいたします。弊社でマスクを製作しておりますので、お客様にはマスク費用の負担無しに、安価な金型をご提供させていただいております。（□15mmで10万円～）また、在庫をしておりますので短納期での対応が可能です。（2週間～）

Ｑ：樹脂も重要とのことですが、樹脂についても相談できるのですか？
Ａ：弊社では、毎日標準的なパターンで種々の樹脂に対してのテストを行っておりますので、樹脂についてもご提案が可能です。また、樹脂・金型・成型プロセスごとに相性のいい離型剤も推奨・ご提供しております

以上、お問い合わせは:
mailto:[email protected] までよろしくお願いします。

２．SCIVAXナノインプリントセミナーのご案内---------------------------------
8月18日の弊社セミナーは、おかげさまで２０名を超える方々にご参加いただきまして、大変好評でした。次回のセミナーは、
＜関東＞
9月15日　13：00-16：00
弊社ラボにて、通常通り実施します。今回は、住友３Ｍ様に離型剤についてのご講演をいただきます。奮ってご参加下さい。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_3.html
＜関西＞
9月22日
弊社代理店であります、丸文㈱関西支社にて実施いたします。今回は、画期的なマクロ検査装置「ＧＥＯＳＣＡＮ」を開発された日本ミニコンピュータシステム様に、ナノインプリントにおけるマクロ検査技術についてご講演いただきます。
http://www.marubun.co.jp/product/electronics/event/qgc18e000000pjnc.html

３．開催セミナーに関するご報告とお礼---------------------------------------
＜弊社主催セミナー＞
8月18日のセミナーにご参加いただきました方々に、改めてお礼を申し上げます。お暑い中、大変ありがとうございました。当日のご講演が、東京理科大学でナノインプリント用モールドのご研究をされている谷口先生ということもあり、金型に関する問い合わせ、質問が大変多く寄せられました。
特に最近、ＳＩや石英のモールドが脆く、繰り返し使えないことからＮｉ電鋳モールドに関する関心が高まっており、弊社標準金型に関するご質問も多数寄せられました。
アンケートの結果、自社で金型を内製される予定のお客様は1社のみとのことで、今後金型に関する需要が高まることが予想されます。弊社では今後もＮｉ電鋳を中心とした、実用化のための金型技術を継続して開発し、お客様に提供していく考えです。
なお、次回以降のセミナーにつきましては、２．をご参照下さい。何度でもご参加いただけますので奮ってお申し込み下さい。

＜㈱情報機構主催セミナー＞
8月22日に、㈱情報機構主催の「ナノインプリント最新技術」にご参加いただきました方々に、改めてお礼を申し上げます。当日は、東京理科大の谷口先生から概論についてご講演いただいた後に、下名が熱式の動向につきまして、また東洋合成工業㈱坂井氏よりＵＶ式の最新動向に付きましてそれぞれ、紹介をするという内容でした。
熱式に関しましては、材料・離型剤に関する質問が寄せられたほか、熱膨張・収縮の問題について議論がありました。また、ＵＶ式に関しましては坂井氏が持ち込みのＵＶインプリントキットで実演を行った上で、ＵＶ式の課題（石英モールドの課題等）について紹介がありました。

４．ナノインプリント装置(X-200)レンタル開始--------------------------------
お客様からのご要望にお応えし、SCIVAXのプロセスノウハウを凝集させたインプリント装置（X-200）のレンタルを開始いたします。期間、費用等詳細は以下までお問い合わせ下さい。
担当：金井　TEL：044-820-0551
mailto:[email protected]　　
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_4.html

５．ナノインプリント関連サービスに関し-------------------------------------
お客様より好評を受けております各種サービスに関し以下の通りご案内申し上げます。ご興味のあるサービスに関してはご遠慮なくお問い合わせ下さい。
□サンプル販売（ナノ加工フィルム、標準パターンサンプル、溝メッキサンプル、標準金型、ナノ標準金型）
□金型受託加工（ニッケル金型製作、マスタ持込も可）
□材料販売（ナノインプリント用開発樹脂）
□装置販売（R＆D機：VXシリーズ、Xシリーズ）
□試作加工（SCIVAXで、協力会社で、レンタル機希望）
□共同開発（量産品生産）
mailto:[email protected]　担当：金井
TEL:044-820-0551
http://www.scivax.com/nil/shouhin/shouhin_1.html

＜SCIVAXインプリントフォーラムONLINEメール登録＞
本メルマガの登録画面を設定致しましたので、ご興味をお持ちの方々にご紹介下さい。
http://www.scivax.com/nil/joho/joho_1.html